銅 アルミ ハステロイ インコネル SUS304等の大物非鉄金属加工お任せください

半導体材料高純度銅(6NCu)・FPD向け銀(Ag)等のスパッタリングターゲット切削加工について

半導体製造装置向けスパッタリングターゲット

近年、高純度化(~6N)する半導体製造装置向けスパッタリングターゲット材の切削加工を行っています。

アルミ(Al)切削加工:厚さ3mm

スパッタリングターゲットを切削加工のみ(研磨なし)で面粗度0.068μmを実現しました。
アルミターゲット材IMG_0206

複合材スパッタリングターゲット切削加工

真鍮ターゲット材 スパッタリングターゲット、切削加工中の様子

銀(Ag)スパッタリングターゲット材切削加工「FPD向け」

銀(Ag) スパッタリングターゲット切削加工

銀(Ag) スパッタリングターゲット切削加工

年々、大型化する 液晶製造装置市場において、「高い品質」と「安定」したスパッタリングターゲット材料の供給をします。
大型スパッタリングターゲット(4m:4000mmまで)の生産体制を構築しています。

制作可能サイズ

  • 2000mm x 4000mm

加工実績

高純度スパッタリングターゲット材

  • 銅(Cu)~6N
  • 錫(Sn)~6N

スパッタリングターゲット材

  • 銀(Ag)
  • 銅(Cu)~φ660mm
  • 錫(Sn)
  • モリブデン(Mo)
  • 亜鉛(Zn)
  • アルミ(AL)
  • チタン(Ti)
  • ハステロイ
  • インコネル

測定装置

三次元測定機

液晶製造向け大型スパッタリングターゲットに対して、門型マシニングセンタに付加した3次元測定機能にて全数測定データの添付が可能です。

トレーサビリティ

非接触測定器

KEYENCE IM-7500

非接触測定器

弊社では、「高純度(~6N)」スパッタリングターゲット材に対し完全非接触にて計測。
測定時に発生しうる、キズ・打痕・錆び等を徹底して排除しております。

また、プログラム制御された画像寸法測定器による「全数測定」「データ添付」等のトレーサビリティを確保した納品に対応しております。

スパッタリングターゲット材むけ特殊対応

各種スパッタリングターゲット材に必要な工法を確立しております。

  • 熱処理
  • 歪み矯正
  • ドライ切削・研削(切削油無し・研削油無し)
  • 面粗度測定
  • 腐食防止対策
  • 非接触測定
  • レーザー刻印(個別ナンバリング等)
  • 測定データによる製品トレーサビリティの確立
  • 高効率切削屑回収
  • 脱脂
  • 輸送時のキズ、こすれ等を考慮した梱包・配送方法の立案

まずはお気軽にご相談ください。

加工に関するご相談・ご質問や、お見積のご依頼など、
「下記メールフォーム」または「お電話」よりお問合せください。
1営業日以内に担当者よりご連絡を致します。

TEL 048-251-5838 受付時間 8:00 - 18:00 (日・祝日除く)

お気軽にお問い合わせください。 TEL 048-251-5838 受付時間 8:00 - 18:00 (日・祝日除く)

YOUTUBE

動画も「分かりやすい!」と好評です☆
是非ごらんください。

  • facebook
  • twitter

取引実績

旭化成アドバンス(株)
アルバックテクノ(株)
(株)IHI
(株)稲葉製作所
(株)荏原風力機械
ケンコーマヨネーズ(株)
JX金属商事(株)
JFEテクノリサーチ(株)
住友重機械工業(株)
セイコーエプソン(株)
(株)ゼンショーホールディングス
(株)ニコン
日本原子力研究開発機構
日本電気(株)
ブリジストンプラントエンジニアリング㈱
前澤工業(株)
前田工繊(株)
三井精機工業(株)
三菱化工機(株)
三菱重工機械システム(株)
三菱マテリアルトレーディング㈱

ISO9001認証取得

本社

お気軽にお問合せください048-251-5838受付8:00-18:00[土日・祝日除く]

ご注文 お見積りもこちらから
PAGETOP
Copyright © 埼玉プレーナー工業所 All Rights Reserved.
PAGE TOP