画像寸法測定器

KEYENCE　IM7500

半導体材料となるスパッタリングターゲットは、高純度の銅、錫、銀などが使用されます。
高純度マテリアルは硬度が非常に低く、ノギス等の測定工具でスパッタリングターゲットにキズをつけないよう、画像寸法測定器を使用した非接触測定を行います。

プログラムにて設定箇所を自動計測。
高純度半導体材料などの量産製品に対し、全数測定、データ添付、データ保管・管理体制も構築しています。

ツールプリセッタ

STPマジス

2024年1月　画像処理（演算）方式の非接触ツールプリセッタを導入しました。

タップやボールエンドミルなど、様々な形状の工具測定に対応

ツールを一周回転させるだけで各刃のX,Z値をグラフで表示。刃振れ状態が簡単に確認でき、加工面精度の向上に役立てています。

MITSUTOYO

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