半導体製造装置部品加工
埼玉プレーナー工業所では、ハステロイ、インコネル、SUS304、チタン、アルミ、銅など、半導体製造装置・液晶製造装置向けの大物金属部品加工に対応しています。大型門型マシニングセンター、プレーナー、プラノミラー、横中ぐり盤を活用し、平面精度・平行精度・反り・歪み管理が求められる大型部品の切削加工を行っています。
特にハステロイやインコネルなどの耐熱合金・耐食合金は、工具摩耗、加工熱、反り、ビビり、寸法変化が問題になりやすい難削材です。弊社では、長年の大物加工経験をもとに、加工順序、クランプ方法、必要に応じた協力会社との工程連携により、難削材の大型部品加工に対応しています。
対応材質
半導体製造装置・液晶製造装置向け部品では、使用環境や要求仕様に応じて、耐熱性・耐食性・寸法安定性に優れた材料が選定されます。埼玉プレーナー工業所では、以下のような材質の大物切削加工に対応しています。
- ハステロイ
- インコネル
- SUS304、SUS316などのステンレス
- チタン
- アルミ
- 銅
- 耐熱合金、耐食合金
- ステライト
ハステロイやインコネルは、工具摩耗や加工熱の影響を受けやすく、加工条件や切削順序によって反り・歪み・寸法変化が出やすい材料です。大型部品では、材料特性だけでなく、ワークサイズ、肉厚、形状、クランプ方法、加工工程全体を考慮した加工計画が重要になります。
得意な加工
弊社では、半導体製造装置向けの大物部品について、以下のような加工に対応しています。
- 大型プレートの平面加工
- 平面精度・平行精度が必要な部品加工
- 反り・歪みを考慮した大物切削加工
- ハステロイ・インコネルなどの難削材加工
- 傾斜部加工、アンギュラ加工
- 側面加工、段差加工、座面加工
- 長尺部品、大型製缶物の追加工
- 門型マシニングセンターによる穴加工・ポケット加工
- プレーナー加工、プラノミラー加工との組み合わせ
半導体製造装置部品では、単に図面通りに削るだけでなく、加工後の反り、平面度、平行度、基準面の安定性が重要になります。埼玉プレーナー工業所では、大型ワークの加工経験を活かし、材質・形状・精度要求に応じた加工方法をご提案します。
ハステロイ（耐熱合金）
傾斜部・側面加工
ハステロイ・インコネルなどの難削材では、傾斜部や側面加工時に工具負荷が偏り、ビビりや工具摩耗が発生しやすくなります。大型門型マシニングセンターを使用し、ワーク剛性・クランプ状態・加工方向を確認しながら加工します。
アンギュラ加工
半導体製造装置向け部品では、取り付け面や流路周辺、カバー部品などで角度加工が必要になる場合があります。大型ワークでは角度精度だけでなく、加工後の反り・平面度も考慮する必要があります。
傾斜部加工
大物部品の傾斜面加工では、工具突出し、切削抵抗、熱変形、加工順序が仕上がりに影響します。材質・形状に応じて荒加工と仕上げ加工を分け、安定した寸法精度を目指します。
よくある質問
- ハステロイやインコネルの大物加工はできますか？
- はい。埼玉プレーナー工業所では、ハステロイ・インコネルなどの耐熱合金・耐食合金を含む大物金属部品加工に対応しています。図面、材質、サイズ、精度要求を確認したうえで加工方法をご提案します。
- 半導体製造装置向け部品では、どのような加工が多いですか？
- 大型プレート、ベース部品、カバー部品、傾斜部加工、側面加工、座面加工、穴加工、ポケット加工、製缶物の追加工などがあります。平面精度・平行精度・反り管理が重要になる部品が多くあります。
- 難削材加工で注意すべき点は何ですか？
- 工具摩耗、加工熱、ビビり、反り、歪み、寸法変化に注意が必要です。特に大型部品では、クランプ方法、加工順序、取り代配分、荒加工と仕上げ加工の分け方が仕上がりに影響します。
- 製缶物や溶接構造物の機械加工もできますか？
- はい。材料手配、製缶、焼鈍、機械加工、表面処理など、協力会社ネットワークを活用した一貫対応もご相談いただけます。
- 見積時には何を送ればよいですか？
- 図面、材質、ワークサイズ、数量、加工範囲、必要精度、支給材の有無、希望納期をお知らせください。反りや平面度が重要な部品の場合は、基準面や検査条件も分かると確認がスムーズです。
その他半導体製造装置向け加工
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